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ＩＬＣ誘致を契機とした地域のイノベーション創出や関連技術の応用展開への期待を共有し、機運醸成を図るため、11月７日に視察会を開催し、15名の会員の参加により、東北大学の半導体研究施設を見学しました。
① 東北大学 未来科学技術共同研究センター 未来情報産業研究館
半導体製造工程、部素材、イメージセンサーの研究開発・実証の拠点として、世界最高水準のクリーンルーム設備を有する施設であり、システム、回路、デバイス等、半導体製造における開発プロジェクトや高度なクリーン技術などについて説明していただき、クリーンルーム内も見学させていただきました。
② マイクロシステム融合研究開発センター
ＭＥＭＳ分野における国内最大、世界屈指の研究開発拠点であり、設計、プロセス開発、試作、評価等、産学連携による様々な開発と実用化の取組、人材育成について説明していただきました。また、クリーンルーム内の様々な装置を見学させていただいたほか、半導体の歴史についても説明していただきました。
今回の視察により、東北大学の半導体の高度な施設や研究活動について知ることができました。参加者アンケートでも「普段見ることができない装置を見学できた」、「高度な技術についてわかりやすく説明していただいた」、「半導体の歴史について興味深く学んだ」、という声が多数ありました。